상품 이름: | 아르곤 불화물 혼합물 | 충전 가스: | 아르곤, 네온과 불소 가스 혼합제 |
---|---|---|---|
밸브형: | CGA679 | 애플리케이션: | 엑시머 레이저 |
내용: | 2000-7500L | 몰의 매스: | 59.954 G / mol |
강조하다: | 레이저 가스 혼합물,msds 천연가스 |
엑시머 레이저 가스 불화 아르곤 ArF 가격 혼합은 1L에서 포장되었습니다 - 50L 실린더
기술 :
아르곤 가스가 아르곤 모노플루오르화물, 일시적 복합체를 여기 에너지 상태에서 생성시키는 불소 가스와 반응하게 하면서, 불화 아르곤 레이저는 자원으로부터 에너지를 흡수합니다 :
2 Ar + F2 → 2 ArF
준안정성인 것에 대한 그것의 에너지 상태 그러나 대단히 혐오스러운 기저 상태를 감소시키면서, 복합체는 자발적이 또는 유발 방출을 겪을 수 있습니다. 기저 상태 복합체는 빨리 매여있지 않는 원자로 분리합니다 :
2 ArF → 2 Ar + F2
결과는 복합체의 기저 상태와 자극 상태 사이에 6.4 전자 볼트의 에너지 차이와 교신하면서, 스펙트럼의 먼 자외선 부분을 달려 있는 193 nm에 있는 에너지를 방출하는 엑시플렉스 레이저입니다.
ArF에 의해 분사된 빛이 사람의 눈에 보이지 않아서 스트레이 빔을 피하기 위한 이 레이저와 함께 일할 때 추가적 안전 예방 조치는 필요합니다. 글러브는 UV 빔의 포텐셜리카르치노제닉 특성에게서 살을 보호할 필요가 있고 UV 고글이 눈을 보호할 필요가 있습니다.
상술 :
1. 물성
상품 | 불화 아르곤 가스 |
분자식 | ArF |
단계 | 가스 |
색 |
무색입니다 |
수송을 위한 위험한 클래스 | 2.2 |
2. 전형적 기술 데이터 (COA)
주요 구성품 | |||
성분 | 집중 | 범위 | |
불소 | 1.0% | 0.9-1.0% | |
아르곤 | 3.5% | 3.4-3.6% | |
네온 | 균형 | ||
최대한 음란 | |||
성분 | 집중(ppmv) | ||
이산화탄소 (CO2) | <5> | ||
일산화탄소 (CO) | <1> | ||
테트라플루오르화 탄소 (CF4) | <2> | ||
카보닐 불화물 (COF2) | <2> | ||
헬륨 (그) | <8> | ||
수분 (H2O) | <25> | ||
질소 (N2) | <25> | ||
삼불화 질소 (NF3) | <1> | ||
산소 (O2) | <25> | ||
실리콘 테트라플루오르화물 (SiF4) | <2> | ||
6불화 유황 (SF6) | <1> | ||
메탄) (CH4) (으로서의 THC | <1> | ||
크세논 (Xe) | <10> |
3. 패키지
실린더 상술 | 내용 | 압력 | ||||
실린더 | 밸브 출구 선택 | 입방 피트 | 리터 | 게이지 PSI | 바 | |
1 | CGA679 | 728을 멸시하세요 | 265 | 7500 | 2000 | 139 |
2 | CGA679 | 728을 멸시하세요 | 212 | 6000 | 2000 | 139 |
3 | CGA679 | 728을 멸시하세요 | 71 | 2000 | 1800 | 125 |
애플리케이션 :
불화 아르곤 혼합은 보통 불활성 기체 혼합물과 관련하여, 193 nm 석판 인쇄 적용에서 사용됩니다.