등급 기준: | 의학적 학위 | 적용: | 눈렌즈 |
---|---|---|---|
다른 이름: | 가스를 섞는 레이저 | 패키지: | 밸브 Din8과 20L |
소재: | ArF |
제품명: 레이저 혼합 가스
다른 이름: 아르곤 플루오라이드 레이저 가스 (193nm)
모델:TUI-CTXX-ARF V 3.0
제품 유형: ArF, F2/Ar/He/Ne
UN NO.: UN1956
실린더 부피: 16L, 20L
밸브 유형: CGA679, DIN 8, DIN 14
다음은 제품 데이터의 일부입니다:
사양 |
인증 농도 |
단위
|
분석 방법 |
|
엑시머 레이저 가스 |
표준 |
|
|
|
질소(N2) |
≤ 4.0 |
2.6 |
ppmv |
GC/PDID |
산소(O2) |
≤ 1.0 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
일산화탄소 (CO) |
≤ 1.0 |
0.2 |
ppmv
|
GC/PDID |
이산화탄소 (CO2) |
≤ 1.0 |
0.3 |
ppmv
|
GC/PDID |
기타 할로카본 (THC) |
≤ 1.0 |
≤ 1.0 |
ppmv
|
GC/PDID |