혼합 : 불소 엑시머 레이저: | 불소 크립톤 네온 혼합 | 멀티가스 레이저.: | 불소 화합물, 크립톤과 네온 가스 혼합제 |
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밸브형: | CGA 679 | 인기: | 향기가 없습니다 |
색: | 무색입니다 | 밸브 출구: | 718을 멸시하세요 |
하이 라이트: | 레이저 가스 혼합물,msds 천연가스 |
불소 엑시머 레이저 혼합가스 프리믹스 가스 불소 크립톤과 네온
기술 :
혼합 : 불소 엑시머 레이저
엑시머 레이저는 멀티가스 레이저입니다. 출력 파장은 희유 가스 / 할로겐 조합의 기능입니다. 엑시머는 희유 가스 / 할로겐화물 분자의 이름입니다. 불소 혼합에서 발생될 수 있는 4 사고 방식 (스펙트럼 선)이 있습니다.
상술 :
1. 물성
주요 구성품 | ||
성분 | 집중 | 범위 |
불소 | 1.0% | 0.9-1.0% |
크립톤 | 1.25% | 1.2-1.3% |
네온 | 균형 |
2. 전형적 기술 데이터 (COA)
최대한 음란 | |
성분 | 집중(ppmv) |
이산화탄소 (CO2) | <5> |
일산화탄소 (CO) | <1> |
테트라플루오르화 탄소 (CF4) | <2> |
카보닐 불화물 (COF2) | <2> |
헬륨 (그) | <8> |
불화 수소 / 수분 (HF/H2O) | <25> |
질소 (N2) | <25> |
삼불화 질소 (NF3) | <1> |
산소 (O2) | <25> |
6불화 유황 (SF6) | <1> |
실리콘 테트라플루오르화물 (SiF4) | <2> |
메탄) (CH4) (으로서의 THC | <1> |
크세논 (Xe) | <1> |
3. 패키지
실린더 상술 | 내용 | 압력 | ||||
실린더 | 밸브 출구 선택 | 입방 피트 | 리터 | 게이지 PSI | 바 | |
1 | CGA679 | 728을 멸시하세요 | 265 | 7500 | 2000 | 139 |
2 | CGA679 | 728을 멸시하세요 | 212 | 6000 | 2000 | 139 |
3 | CGA679 | 728을 멸시하세요 | 71 | 2000 | 1800 |
125 |
애플리케이션 :
크립톤플루오라이드 혼합은 248 nm 석판 인쇄 적용에서 사용됩니다, 보통과 관련하여
불활성 기체 혼합물.