독성 물질 규제법: | T | 화학적 특성: | 무색인 가스 |
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순도 :: | 99.9% | 이명: | 탄소 헥사플루오라이드, 1,1,1,2,2,2-헥사플루오로에탄, 퍼플루오로에탄, 에스포인, 할로카본 116, PFC-116, CFC-116, R-116, 아턴 116, 할론 2600 |
출현 :: | 무색인 액화 가스 | 어떤 유엔.: | 2193 |
등급기준: | 전자 그레이드 공업적 등급 | 유사어: | 1,1,1,2,2,2-헥사플루오로에탄 ;C2F6 ;에탄, 헥사플루오로 ;에틸헥사플로라이드 ;f116 ;F-116 ;FC1160 ;탄화불소 116 |
애플리케이션: | 유체를 냉동시키는 전자공학 장비, 트랜스 | MF :: | C2F6 |
MW :: | 138.01 | ||
하이 라이트: | 전기 가스,순도는 특정 가스를 더합니다 |
순도 99.9% 에틸헥사플로라이드, 실리콘 에 이산화 실리콘의 에칭을 위한 할로카본 116
기술 :
C2F6 포장 : 44L 실린더 충진이 또한 실린더 중 2-8L에 대한 고객 욕구에 따라 나눠질 수 있습니다.
사용 : 절연 가스, 플라즈마 에칭제, 높은 유전률 냉각제로 사용했습니다.
물리적이고 화학적 특성 : 24.3 C 위에, 무색인, 향기가 없는, 불연성 가스는 액체, 분자량 138.0, 끓인 점 -78 C, 녹는 점 -101 C, 물에서 녹기 어려운, 안정적이 유지할 수 없습니다.
상술 :
1. 물성
상품 |
헥사플루오로에탄 |
분자식 |
R116 |
어떤 CAS |
76-16-4 |
어떤 유엔. |
2193 |
위험한 클래스 |
2.2 |
MF : |
C2F6 |
실린더 용량 |
40L, 500L |
충진 중량 |
530 kg/500L 리필러블 실린더 20 kg/40L 리필러블 실린더 |
저장과 운송 |
사용하고, 저장하고 45C 이하 옮기세요. 시원하고 환기가 잘 되는 구역에 저장하세요. 소방서, 열, 햇빛과 가연성 물질로부터 가까이 못하게 하세요. 가스 용기와 부속물에 대한 손상을 피하기 위해 로딩되고 짐을 내릴 때 주의깊게 취급되세요. |
2. 전형적 기술 데이터
순도, % | ≥99.8 |
수분, PPm | ≤10 |
신맛, PPm | ≤1 |
증기 잔여물, PPm | ≤100 |
출현 | 무색인, 어떤 혼탁하지 않은 것 |
인기 | 어떤 이상한 악취 |
분자량 | 66.1 |
비등점, 'C | -24.7 |
임계 온도, 'C | 113.5 |
임계 압력, Mpa | 4.58 |
특별한 액체열, 30' C, [KJ/ (킬로그램' C)] | 1.68 |
ODP | 0 |
GWP | 0.014 |
애플리케이션 :
다수이 - 기능성 에칭 기법 | 금속의 반도체 식각의 생산에서 |
메탈 서브스트레이트 |
그것은 금속 실리콘-금속과 금속 산화물의 선택식가에서 사용될 수 있습니다. 공격 또는 강한 열기에 대한 장기노출 하에 컨테이너는 맹렬하게 파열하고 폭등할 수 있습니다. |