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무색인 C4F6 전자적 가스 44L 99.95% 순도 실린더 가스 Hexafluoro-1,3-Butadiene

기본 정보
원래 장소: 산둥
브랜드 이름: OEM
인증: ISO9001
모델 번호: 아이작뉴턴미터
최소 주문 수량: 60 크그스
가격: negotiation
포장 세부 사항: 30lb - 926L 실린더 패키지
배달 시간: 7-10 일
지불 조건: 웨스턴 유니온, L/C (신용장), 전신환
공급 능력: 50Ton
상세 정보
출현 :: 가스 색: 무색입니다
인기 :: 향기가 없습니다 분자량 :: 162.03 G / mol
융해점 / 빙점 :: -130 C 비등점 / 비등 범위 :: -5.5 C
발화점 :: ./. 화학명:: Hexafluoro-1,3-butadiene
하이 라이트:

전기 가스

,

순도는 특정 가스를 더합니다


제품 설명

반도체 처리를 위한 C4F6 에칭가스

 

기술 :

 

C4F6 (Hexafluoro-1,3-butadiene)는 유전 식각 애플리케이션을 위해 사용됩니다. Hexafluoro-1,3-butadiene은 유독한 무색인, 향기가 없는, 가연성 액화 압축 가스입니다.

 

패키지 :44~49L 실린더, CGA350 SS 밸브

채워 있는 내용 : 20 킬로그램 / 크릴

 

C4F6, 환경적으로 우호적 고성능 반도체 패브리케션 특정 가스가 그것입니까
그렇게 하기 위해 높은 식각률, 좋은 종횡비 제어와 고선택비를 제공합니다
비판적 유전 식각 애플리케이션에서 광반응성 액체.

 

0.13 마이크론 동안 그리고 칩 설계를 넘어서 구리 듀얼 다마신 적용과 낮은 K 유전 절연 재료를 포함하여 C4F6 가스는 많은 키 처리 영역에서 유전 식각 프로세스 결과를 향상시킵니다. 시프렌 46은 또한 낮은 지구 온난화 배출과 제로에서 환경적 잇점을 제공합니다
오존 붕괴 지수.

무색인 C4F6 전자적 가스 44L 99.95% 순도 실린더 가스 Hexafluoro-1,3-Butadiene 0

물리적이고 화학적 특성

출현과 인기 25에 'C와 760 밀리미터 Hg를 가스로 처리하세요.
융해점 : -132.1 'C
비등점 6일부터 7일까지 '760 밀리미터 Hg에 있는 C
증기압 : 20 'C에 있는 25 절대 평방 인치 당 폰드
비중 : -20 'C에 있는 1.553 g/mL
굴절률 : -20 'C에 있는 1.378

 

표준 패키지 INFORMATION-ASIA와 북아메리카

용기 크기 44L 강철 8L 강철
충진 중량(kgs) 45 5
밸브 커넥온 피노이맥은 724를 멸시합니다 설명서는 724를 멸시합니다
실린더 차원 (안에) 9x51 7x19

 

애플리케이션 :

1. 서브쿼터 마이크론 장치를 위한 플라즈마 식각.

2. 과불화탄소 선택적 가스 플라즈마

3. TFT-라이크즈와 광기전에 사용했습니다.

연락처 세부 사항
Vicky Liu

전화 번호 : 86-27-82653381

WhatsApp : +8613667126861