출현 :: | 가스 | 색: | 무색입니다 |
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인기 :: | 향기가 없습니다 | 분자량 :: | 162.03 G / mol |
융해점 / 빙점 :: | -130 C | 비등점 / 비등 범위 :: | -5.5 C |
발화점 :: | ./. | 화학명:: | Hexafluoro-1,3-butadiene |
하이 라이트: | 전기 가스,순도는 특정 가스를 더합니다 |
반도체 처리를 위한 C4F6 에칭가스
기술 :
C4F6 (Hexafluoro-1,3-butadiene)는 유전 식각 애플리케이션을 위해 사용됩니다. Hexafluoro-1,3-butadiene은 유독한 무색인, 향기가 없는, 가연성 액화 압축 가스입니다.
패키지 :44~49L 실린더, CGA350 SS 밸브
채워 있는 내용 : 20 킬로그램 / 크릴
C4F6, 환경적으로 우호적 고성능 반도체 패브리케션 특정 가스가 그것입니까
그렇게 하기 위해 높은 식각률, 좋은 종횡비 제어와 고선택비를 제공합니다
비판적 유전 식각 애플리케이션에서 광반응성 액체.
0.13 마이크론 동안 그리고 칩 설계를 넘어서 구리 듀얼 다마신 적용과 낮은 K 유전 절연 재료를 포함하여 C4F6 가스는 많은 키 처리 영역에서 유전 식각 프로세스 결과를 향상시킵니다. 시프렌 46은 또한 낮은 지구 온난화 배출과 제로에서 환경적 잇점을 제공합니다
오존 붕괴 지수.
물리적이고 화학적 특성
출현과 인기 | 25에 'C와 760 밀리미터 Hg를 가스로 처리하세요. |
융해점 : | -132.1 'C |
비등점 | 6일부터 7일까지 '760 밀리미터 Hg에 있는 C |
증기압 : | 20 'C에 있는 25 절대 평방 인치 당 폰드 |
비중 : | -20 'C에 있는 1.553 g/mL |
굴절률 : | -20 'C에 있는 1.378 |
표준 패키지 INFORMATION-ASIA와 북아메리카
용기 크기 | 44L 강철 | 8L 강철 |
충진 중량(kgs) | 45 | 5 |
밸브 커넥온 | 피노이맥은 724를 멸시합니다 | 설명서는 724를 멸시합니다 |
실린더 차원 (안에) | 9x51 | 7x19 |
애플리케이션 :
1. 서브쿼터 마이크론 장치를 위한 플라즈마 식각.
2. 과불화탄소 선택적 가스 플라즈마
3. TFT-라이크즈와 광기전에 사용했습니다.