상품 이름: | 삼불화 질소 | 분자 모양: | 삼각형 피라미드형 |
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발화점: | 불연성입니다 | 출현 :: | 무색인 가스 |
애플리케이션: | 실리콘 웨이퍼의 플라즈마 에칭 | 어떤 아인텍스.: | 232-007-1 |
융해점: | -207.15 'C | 비등점: | -129.06 'C |
하이 라이트: | 전기 가스,순도는 특정 가스를 더합니다 |
텅스텐 실리사이드와 CVD에 의해 생산된 텅스텐과 함께 사용되는 삼불화 질소 NF3, 99.99~99.999%
기술 :
NF3은 케케묵은 인기와 무색 기체입니다. 흡입에 의해 매우 유독합니다. 물에서 녹기 어려운. 조직에 부식성입니다. 발사되거나 가열되기 위한 장기노출 하에 컨테이너는 맹렬하게 파열하고 폭등할 수 있습니다. 다른 화학을 만드는데 사용됩니다고 로켓 연료의 성분으로서.
부유 물질로부터 가연물 (나무, 종이, 기름, 기타 등등을) 떨어뜨리세요. 부유 물질을 접촉하거나 대충 해치우지 마세요. 당신이 위험 없이 그것을 할 수 있다면 유출을 막으세요. 가능하다면, 가스가 액체보다 오히려 탈출하도록 누설 컨테이너를 돌리세요. 유출에 있는 직접적인 물 또는 유출을 얻는 관계자가 하지 않습니까. 수증기를 감소시키거나 수증기 분말 살충제 살포를 전환하기 위해 물 분무를 사용하세요. 물 유출이 부유 물질과 연락할 수 있게 허락하기를 회피하세요. 수로, 하수구, 지하실 또는 한정 영역으로의 엔트리를 방지하세요. 재료가 증발할 수 있게 허락하세요. 가스가 분산되었을 때까지 지역을 분리하세요. 주의 : 냉각된 / 극저온 액체와 접해서 때, 여러 가지 물질은 브리틀이 되고, 경고 없이 깨질 가능성이 많습니다.
상술 :
1. 물성
상품 이름 | 삼불화 질소 |
분자식 | NF3 |
어떤 유엔. | 유엔 2451 |
어떤 CAS. | 7783-54-2 |
어떤 EINECS. | 232-007-1 |
2. 전형적 기술 데이터
음란 | NF3≥99.995% Vol.% | NF3≥99.99% Vol.% | NF3≥99.98% Vol.% | NF3≥99.9% Vol.% |
CF4 | ≤20 Vol.ppm | ≤40 Vol.ppm | ≤100 Vol.ppm | ≤500 Vol.ppm |
N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
이산화탄소 | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
H2O | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
HF | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
SF6 | ≤1 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤25 Vol.ppm |
N2O | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
CO | ≤0.5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
3. 패키지
도트 3AA / GB5099 이음새가 없는 철강 cylinders/ 톤 실린더
실린더 정보 | 개별적 실린더(47L) | 번들 | Y 실린더 | ISO 튜브 |
재료 | Mn 강철(316L) | 크롬-몰리브덴 강철 | ||
밸브 연결 타입 | CGA 330 CGS /는 640을 멸시합니다 | DISS 640 기타 등등 | ||
타입 | DOT-3AA GB5099 | 47L*16/47L*25 | 20ft :40ft | |
압력 | 9-13Mpa | |||
충진 중량 | 20/22.7 킬로그램 | 195/200 |
애플리케이션 :
삼불화 질소 (NF3)는 그것이 분해하기 위해 어떤 남아있는 높은 세정 속도의 유리하게 좋은 에칭과 클리닝 가스이고 쉬운 전자 공업, 반도체와 태양 광전기 산업 기타 등등에서 넓게 사용되었습니다.