상품 이름: | 아르곤 불화물 혼합물 | 충전 가스: | 아르곤, 네온과 불소 가스 혼합제 |
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밸브형: | CGA679 | 몰의 매스: | 59.954 G / mol |
몰의 매스: | 59.954 G / mol | 색: | 무색입니다 |
색: | 무색입니다 | 밸브 출구: | 728을 멸시하세요 |
밸브 출구: | 728을 멸시하세요 | ||
하이 라이트: | 레이저 가스 혼합물,msds 천연가스 |
무색인 엑시머 레이저 가스는 자외선을 위한 가스 ArF 레이저를 사용 전에 혼합시킵니다
기술 :
ArF 레이저로부터의 자외선은 잘 생물학적 물질과 유기 화합물류에 흡수됩니다. 재료를 태우거나 줄이 기보다, 연소보다 오히려 제거를 통하여 팽팽하게 제어 방법으로 공기로 붕괴하는 ArF 레이저는 표면 조직의 분자 결합을 해리합니다.
그러므로 ArF와 다른 엑시머 레이저는 그들이 왼쪽인 완전한 거의 어떤 난방과 표피재 또는 물질의 나머지의 변화의 예외적으로 좋은 층을 제거할 수 있는 유용한 속성을 가집니다. 이러한 특성은 잘 유기 재료제 (어떤 폴리머와 플라스틱을 포함하여)과 눈수술과 같은 특히 섬세한 수술을 마이크로마치닝 정확성에 적합한 그와 같은 레이저를 만듭니다.
최근에, 2 마이크로 렌즈 배열로 구성된 새로운 디프르랙티브 퍼지는 시스템을 이용하여, 용융 실리카 위의 ArF 레이저에 의한 표면마이크로머시닝은 미세마이크로미터 정확도로 실행되었습니다.
상술 :
1. 물성
상품 | 불화 아르곤 가스 |
분자식 | ArF |
단계 | 가스 |
색 |
무색입니다 |
수송을 위한 위험한 클래스 | 2.2 |
2. 전형적 기술 데이터 (COA)
주요 구성품 | |||
성분 | 집중 | 범위 | |
불소 | 1.0% | 0.9-1.0% | |
아르곤 | 3.5% | 3.4-3.6% | |
네온 | 균형 | ||
최대한 음란 | |||
성분 | 집중(ppmv) | ||
이산화탄소 (CO2) | <5> | ||
일산화탄소 (CO) | <1> | ||
테트라플루오르화 탄소 (CF4) | <2> | ||
카보닐 불화물 (COF2) | <2> | ||
헬륨 (그) | <8> | ||
수분 (H2O) | <25> | ||
질소 (N2) | <25> | ||
삼불화 질소 (NF3) | <1> | ||
산소 (O2) | <25> | ||
실리콘 테트라플루오르화물 (SiF4) | <2> | ||
6불화 유황 (SF6) | <1> | ||
메탄) (CH4) (으로서의 THC | <1> | ||
크세논 (Xe) | <10> |
3. 패키지
실린더 상술 | 내용 | 압력 | ||||
실린더 | 밸브 출구 선택 | 입방 피트 | 리터 | 게이지 PSI | 바 | |
1 | CGA679 | 728을 멸시하세요 | 265 | 7500 | 2000 | 139 |
2 | CGA679 | 728을 멸시하세요 | 212 | 6000 | 2000 | 139 |
3 | CGA679 | 728을 멸시하세요 | 71 | 2000 | 1800 | 125 |
애플리케이션 :
불화 아르곤 혼합은 보통 불활성 기체 혼합물과 관련하여, 193 nm 석판 인쇄 적용에서 사용됩니다.