| 원래 장소: | 중국 |
|---|---|
| 브랜드 이름: | newradar / accept OME |
| 인증: | ISO/DOT/GB |
| 모델 번호: | 이용 불가능 |
| 최소 주문 수량: | 1000 리터 |
| 가격: | negotiation |
| 포장 세부 사항: | 10 킬로그램, 40 킬로그램 또는 50 킬로그램은 자격 있는 가스 용기에서 포장되었거나, 수요에 따라 포장되었습니다 |
| 배달 시간: | 15-25 당신의 대금을 받은 후 일로 일합니다 |
| 지불 조건: | L/C (신용장),, 전신환, 웨스턴 유니온, 머니그램 |
| 공급 능력: | 달 당 3,00 세제곱 미터 |
| 애플리케이션: | 248nm 리소그래피는 가공처리하고, 혼합 가스를 사용하여 할로겐과 섞였습니다 | CF4: | 테트라플루오로메탄 |
|---|---|---|---|
| 어떤 유엔: | 1982 | 산소: | O2 |
| 패키지 :: | 이음새가 없는 스틸 실린더 | 이명: | 산소 테트라플루오르화 탄소 혼합 |
| 출현 :: | 무색 기체 | 실린더 크기 :: | 10L,25L, 40L 또는 50L |
| 등급기준: | 전자 그레이드 등급 | 독성의: | 논-톡식 |
| 하이 라이트: | 에어 리퀴드 특정 가스,특수 기체 |
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유니버설 호스트 프로세서 기체 O2와 CF4 특정 가스는 테트라플루오로메탄 혼합 제조사와 산소를 혼합합니다
기술 :
이방성 etch.control. 항공 또는 산소 이 존재뿐 아니라 다른 할로겐화탄소는 더 좋은 차원적이고 프로필을 초래하는 과정의 상측 제어에 테테트라플로라이드 결과의 통제에 해롭습니다. 더 높은 순도 카르보노르 CF2conditions, 유리기가 CF3Carbon 테트라플루오르화물의 모양으로 일반적으로 인 불소는 정상 상태 하에 상대적으로 활발치 못하고, 질식제입니다. RF 플라스마프로세스 하에. 테트라플루오르화 탄소는 폴리실리콘과 이산화 실리콘과 실리콘 질화물을 식각하기 위해 산소와 함께 사용됩니다.테트라플루오르화 탄소는 플로오르 소스이거나 탄소 무불소기가 다양한 웨이퍼 식각에 사용했습니다
상술 :
1. 물성
| 주요 구성품 | ||
| 성분 | 집중 | 범위 |
| O2 | 20 % | 19.9-20.1% |
| CF4 | 균형 | |
2. 전형적 기술 데이터 (COA)
| 최대 음란 | |
| 성분 | 집중 (ppm) |
| 이산화탄소 (CO2) | <1> |
| 일산화탄소 (CO) | <1> |
| 수분 (H2O) | <0> |
| 질소 (N2) | <10> |
| 산소 (O2) | <5> |
| 메탄) (CH4) (으로서의 THC | <0> |
| 다른 할로겐화탄소 | <1> |
| 육불화 유황 | <1> |
| Specifications*를 실린더를 다세요 | 내용 | 압력 | |||
| 실린더 | 밸브 출구 선택 | 파운드 | 게이지 PSI | 바 | |
| 2 | CGA 580 | 716을 멸시하세요 | 70 | 2000 | 139 |
애플리케이션 :
| 1 |
테트라플루오로메탄은 때때로 저온 냉각제로서 사용됩니다.
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| 2 |
그것은 실리콘과 이산화 실리콘과 실리콘 질화물을 위한 플라즈마 에천트로서 홀로 전자 미세조립에서 또는 산소와 결합하여 사용됩니다.
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| 3 |
그것은 또한 중성자 검출기에서 사용을 가지고 있습니다
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