| 원래 장소: | 중국 |
|---|---|
| 브랜드 이름: | Newradar |
| 인증: | ISO/DOT/GB |
| 모델 번호: | 이용 불가능 |
| 최소 주문 수량: | 1 PC |
| 가격: | negotiation |
| 포장 세부 사항: | 수요에 따라 10L-500L 실린더에서 싸여지거나 꽉 찹니다. |
| 배달 시간: | 10-20 당신의 대금을 받은 후 일로 일합니다 |
| 지불 조건: | L/C (신용장),, 전신환, 웨스턴 유니온, 머니그램 |
| 공급 능력: | 달 당 1000 PCS |
| 상품 이름: | 삼불화 질소 | 순도: | 99.99% 내지 99.999% |
|---|---|---|---|
| 몰의 매스: | 71.00 Ｇ / mol | 출현: | 무색인 가스 |
| 어떤 CAS.: | 7783-54-2 | 어떤 아인텍스.: | 232-007-1 |
| 융해점: | -207.15 'Ｃ | 비등점: | -129.06 'Ｃ |
| 하이 라이트: | 전기 가스,전자 가스 |
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NF3, 액화가스, 삼불화 질소, 10L 내지 500L 실린더에서 패키징되는 99.99~99.999%
기술 :
삼불화 질소는 방식 NF3과 무기질 화합물입니다. 이 질소 불소 화합물은 무색인 향기가 없는, 불연성인 가스입니다. 그것은 마이크로 전자공학에서 식각제로서의 사용을 증가시키는 것 발견합니다.
삼불화 질소는 방식 NF3과 무기질 화합물입니다. 이 질소 불소 화합물은 무색인 향기가 없는, 불연성인 가스입니다. 그것은 마이크로 전자공학에서 식각제로서의 사용을 증가시키는 것 발견합니다.
삼불화 질소는 실리콘 웨이퍼의 플라즈마 에칭에서 사용됩니다. 오늘 삼불화 질소는 압도적으로 액정 디스플레이와 실리콘-기반 박막형 태양전지의고 체적 생산에서 PECVD 챔버의 세정에 사용됩니다. 이러한 애플리케이션에서 NF3은 처음에 플라스마로 현장에서 붕괴됩니다.
상술 :
1. 물성
| 상품 이름 | 삼불화 질소 |
| 분자식 | NF3 |
| 어떤 유엔. | 유엔 2451 |
| 어떤 CAS. | 7783-54-2 |
| 어떤 EINECS. | 232-007-1 |
2. 전형적 기술 데이터
| 항목 | 유닛 | 지수 | |
| NF3 | Vol.% ≥ | 99.995 | 99.99 |
| CF4 | Vol.% ≤ | ≤20 | ≤40 |
| N2 | Vol.% ≤ | ≤5 | ≤10 |
| O2+Ar | Vol.% ≤ | ≤3 | ≤5 |
| CO | Vol.% ≤ | ≤1 | ≤5 |
| 이산화탄소 | Vol.% ≤ | ≤1 | ≤5 |
| N2O | Vol.% ≤ | ≤1 | ≤5 |
| SF6 | Vol.% ≤ | ≤2 | ≤5 |
| H2O | Vol.% ≤ | ≤3 | ≤1 |
3. 패키지
도트 3AA / GB5099 이음새가 없는 철강 cylinders/ 톤 실린더
애플리케이션 :
삼불화 질소 (NF3)는 그것이 분해하기 위해 어떤 남아있는 높은 세정 속도의 유리하게 좋은 에칭과 클리닝 가스이고 쉬운 전자 공업, 반도체와 태양 광전기 산업 기타 등등에서 넓게 사용되었습니다.
