| 원래 장소: | 산둥 |
|---|---|
| 브랜드 이름: | OEM |
| 인증: | ISO9001 |
| 모델 번호: | 아이작뉴턴미터 |
| 최소 주문 수량: | 100 KGS |
| 가격: | negotiation |
| 포장 세부 사항: | 30lb - 926L 실린더 패키지 |
| 배달 시간: | 7-10 일 |
| 지불 조건: | 웨스턴 유니온, L/C (신용장), 전신환 |
| 공급 능력: | 50Ton |
| 인기 :: | 향기가 없습니다 | 색: | 무색입니다 |
|---|---|---|---|
| 공기와 물 반응: | 대단히 가연성 가스. 매우 유독합니다. 흡입에 의해 매우 유독합니다. 폭발의 위험 CONFENEMENT 하에 가열되고면. | 실린더 증명서 :: | GB, ISO, CE, 도트 |
| 공급 능력 :: | 달 당 30 톤 | 애플리케이션 :: | 세미 산업 |
| 패키지 :: | 30-1000kg/per 실린더 | 실린더 크기 :: | 30LB,50LB 버릴 수 있는 실린더 |
| 하이 라이트: | 전기 가스,순도는 특정 가스를 더합니다 |
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반도체 패브리케션과 TFT-라이크즈의 제작 동안 전자적 특정 가스 C4F6 사용됩니다
기술 :
C4F6은 새로운 환경적으로 우호적, 고성능, 식각 화학의 유전 식각 IPS(TM) 센튜라(R)와 유전 식각 슈퍼 Ｅ(TM) 센튜라 시스템입니다. C4F6 가스는 비판적 유전 식각 적용에서 더 높은 식각률, 더 좋은 프로필 통제와 더 높은 포토레지스트 선택 비를 제공할 수 있습니다.
C4F6 가스는 낮은 Ｋ 물질을 포함하여 부식 적용을 구리 듀얼 다마신, 자기 정렬 콘택과 고-애스펙트비 콘택과 같은 주요 구역에서 유전 식각 프로세스 결과를 향상시킵니다. 그것은 또한 현재 식각 화학 위에서 중요한 환경 효능을 나타냅니다.
반도체 산업은 지구 온난화 방출을 줄이기 위한 노력으로 신규 가스 케미스트리를 조사했습니다. 향상되는 에치 프로세스 성능 뿐 아니라 C4F6 가스는 낮은 지구 온난화 배출과 제로개의 오존 붕괴 지수를 특징으로 합니다.
| 고압 가스 | |
| 분자량 | 162.03 |
| 유엔은 코드화됩니다 | 3160 |
| 허용 농도 | 불안정합니다 (참조 value5ppm) |
| 기술 | 무색 기체 |
| 인기 | 향기가 없습니다 |
| 비중 | 5.892 |
| 비등점 | 5.5C |
| 비중(액체) | 1.44 kg/l(15C) |
애플리케이션 :
1. Ｃ :C4F6molecule의 F비는 수직 프로파일을 생산하도록 다른 가스 위에서 근본적 그렇게 달성 뛰어난 결과 Ｆ 에칭에 관하여 챔버 표면과 웨이퍼 표면에 폴리머의 양을 제어하기에 충분히 높습니다. 더 중요하게, 그것의 진성 특성은 기판 또는 광반응성 액체에 대한 고선택비와 C4F8과 비교하여 더 넓은 프로세스 윈도우를 허락합니다.
2. 이 행위는 서브 0.25 Ｍ 요구를 위해 필요성을 다루도록 특히 유익합니다. Ar는 캐리어 가스로서 사용되고 있지만 질화물 선택도가 Ar를 위한 감소 기능의 결과로서 생깁니다.
