| 원래 장소: | 산둥 |
|---|---|
| 브랜드 이름: | OEM |
| 인증: | ISO9001 |
| 모델 번호: | 아이작뉴턴미터 |
| 최소 주문 수량: | 100 KGS |
| 가격: | negotiation |
| 포장 세부 사항: | 30lb - 926L 실린더 패키지 |
| 배달 시간: | 7-10 일 |
| 지불 조건: | 웨스턴 유니온, L/C (신용장), 전신환 |
| 공급 능력: | 50Ton |
| 충압 :: | 5MPa | 유엔 번호 :: | 3160 |
|---|---|---|---|
| 공기와 물 반응: | 대단히 가연성 가스. 매우 유독합니다. 흡입에 의해 매우 유독합니다. 폭발의 위험 CONFENEMENT 하에 가열되고면. | 실린더 증명서 :: | GB, ISO, CE, 도트 |
| 공급 능력 :: | 달 당 30 톤 | 애플리케이션 :: | 세미 산업 |
| 패키지 :: | 30-1000kg/per 실린더 | 실린더 크기 :: | 30LB,50LB 버릴 수 있는 실린더 |
| 하이 라이트: | 전기 가스,순도는 특정 가스를 더합니다 |
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C4F6 가스는 디지털 전기 기구와 액정 화면에 사용했습니다
기술 :
C4F6 분자에서 Ｃ :F비는 Ｆ 에칭 근간에 관해서 챔버 표면과 웨이퍼 표면에 폴리머의 양을 제어하기에 충분히 높습니다. 더 중요하 진성 특성이 기판 또는 감광체에 대한 고선택비와 예를 들어 C4F8 (옥타플루오로부탄)과 비교된 더 넓은 프로세스 윈도우를 허락한다는 것 입니다. 이 행위는 서브 0.25 Ｍ 요구를 위해 필요성을 다루도록 특히 유익합니다.
아르곤을 캐리어 가스로 이용함에 있어 질화물 선택도는 감소 기능의 결과가 될 수 있습니다. 다른 가능한 캐리어 가스로서의 크세논은 상승된 셀렉티버티를 가지고 있습니다. 그러므로 Ar / Xe로부터의 혼합은 훌륭한 타협입니다.
시장과 어플리케이션
독물학적 정보
| 노출경로 | 흡입 : 매우 유독하 흡입되고면. 아무세요 : 피부를 통하여 흡수되면 해로울지도 모릅니다. 피부 자극을 야기시킬 수 있습니다. 동상을 야기시킬 수 있습니다. 눈 : 안자극을 야기시킬 수 있습니다. |
| 노출의 징후와 증상 | 아는 한에서는, 화학적 물리적이고, 독성학적 특성은 완전히 조사되지 않습니다. |
애플리케이션 :
1. C4F6은 플라스마, 이온 빔에서 사용 또는 반도체 디바이스 제작에서 스퍼터 에칭을 위해 제안됩니다.
2. 특히 현저한 결과는 캐리어 가스와 희석 액으로서 Xe와 Ar와 플라스마 유전체 부식에서 관찰되었습니다. 플라스마 유전체 부식에 에칭과 증착 종을 균형화시키기 위해 플라즈마 화학을 제어하는 것은 중요합니다.
