| 원래 장소: | 중국 |
|---|---|
| 브랜드 이름: | OEM |
| 인증: | ISO9001 |
| 모델 번호: | 부정 |
| 최소 주문 수량: | 40KGS |
| 가격: | negotiation |
| 포장 세부 사항: | 30lb - 926L 실린더 패키지 |
| 배달 시간: | 7-10 일 |
| 공급 능력: | 50Ton |
| CAS 번호 :: | 685-63-2 | 이명 :: | 1,1,2,3,4,4-hexafluorbuta-1,3-dieen |
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| 해이저드 클래스: | 2.3 | 원산지 :: | 후베이 |
| 순도 :: | 99.95% | 애플리케이션 :: | 탄화 플루오르 기반 플라즈마 에칭 |
| 패키지 :: | 고객 실린더 충진 | 실린더 크기 :: | 50L |
| 하이 라이트: | 전기 가스,순도는 특정 가스를 더합니다 |
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고순도 C4F6 gas99.995%, 탄화 플루오르 기반 플라즈마 에칭에 사용하십시요
기술 :
그것이 러시아에서 개발한 C4F6 드라이 에칭 가스인 HFB. C4F6은 90 nm 이하 좁선 폭에서 드라이 에칭을 가능하게 합니다. 그것은 점점 디지털 전기 기구와 액정 화면에서 사용되는 시스템 LSI와 고속, 대용량 메모리 장치를 처리해서 그러므로 없어서는 안 됩니다.
플루오르 카본 가스는 실리콘 산화막을 처리해서 넓게 사용됩니다. 130 nm의 선 폭에 가공처리해서 현재 사용된 옥타플루오로시클로부탄 (C4F8)와 비교해서, C4F6은 하기 장점을 가집니다 :
1.좁고 깊은 요홈 (매우 좁은 라인 선폭에 처리하는데 적합한) 결과를 초래한 고-애스펙트비
2.고선택비 단지 실리콘 산화막의 에칭을 (보증합니다 ; 광반응성 액체, 실리콘 기판에 영향을 미치거나 영화를 질화처리하지 않습니다)
방법과 싸우는 화재
| 발화점 | 이용 가능한 노 데이터. |
| 소화 물질 | 적당합니다 : 물 분무, 건조 발포체, 이산화탄소. |
| 소방 | 보호한 장비 : 피부 및 눈과의 콘택트를 방지하기 위해 휴대용 호흡기와 방호복을 입으세요. 특별한 위험(들) : 화재 조건 하에 유독 가스를 분사합니다. 실린더는 화재 조건 하에 파열할 수 있습니다. 침수되는 수량과 모든 타격을 입는 용기를 냉각시키세요. |
응급처치 방법
| 흡입 노출 | 흡입되면, 신선한 공기에 노출되는 것으로 이동하세요. 호흡이 힘들면, 바로 의사를 부르세요. |
| 피부 노출 | 노출의 경우에 바로 비누와 풍부한 물의 양과 피부를 씻으세요. 바로 의사를 부르세요. |
| 눈 노출 | 눈과의 콘택트의 경우에 적어도 15의 분을 위한 풍부한 물의 양이 흘러넘치세요. 손가락과 눈꺼풀을 분리함으로써 적당한 플러싱을 보장하세요. 바로 의사를 부르세요. |
| 경구 노출 | 전혀 정상적 투입 경로. 삼켜지면, 밖에 제공된 사람이 인 물과 입이 의식하고 있다고 깨끗이 씻으세요. 의사를 부르세요. |
애플리케이션 :
1.C4F6은 오르가노메탈릭 막 형성 가스로 사용할 수 있습니다,
2. HFB (C4F6) 가스 캔이 세정제들, 배출 가스 처리 솔로 사용합니다
