| 원래 장소: | 중국 |
|---|---|
| 브랜드 이름: | Newradar |
| 인증: | ISO/DOT/GB |
| 모델 번호: | 이용 불가능 |
| 최소 주문 수량: | 1 PC |
| 가격: | negotiation |
| 포장 세부 사항: | 수요에 따라 10L-500L 실린더에서 싸여지거나 꽉 찹니다. |
| 배달 시간: | 10-20 당신의 대금을 받은 후 일로 일합니다 |
| 지불 조건: | L/C (신용장),, 전신환, 웨스턴 유니온, 머니그램 |
| 공급 능력: | 달 당 1000 PCS |
| 상품 이름: | 삼불화 질소 | 비중: | 3.003 kg/m3 (1 atm, 15 'Ｃ) |
|---|---|---|---|
| 인기: | 케케묵습니다 | 출현 :: | 무색인 가스 |
| 애플리케이션: | 실리콘 웨이퍼의 플라즈마 에칭 | 어떤 아인텍스.: | 232-007-1 |
| 융해점: | -207.15 'Ｃ | 비등점: | -129.06 'Ｃ |
| 하이 라이트: | 전자 가스,순도는 특정 가스를 더합니다 |
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삼불화 질소 NF3, 99.99~99.999%가 실리콘 웨이퍼의 플라즈마 에칭에 사용했습니다
기술 :
반도체와 태양 광전기 산업 기타 등등의 넓게 TFT-LCD에서 사용되는 플라즈마 세정과 에칭을 위한 클리닝 가스가 어떤 남은 높은 세정 속도의 장점을 가지고 분해되도록 쉬울 때 질소 트리플루오리드(NF3)는 전자 공업을 위한 새로운 특수 기체입니다.
성숙하게 전기분해와 불소 화합물 생산기술을 기반으로, 몇년 동안 연속적인 R&D를 통하여, 회사는 세계에서 진보된 여러 프로두이온 기술을 달성했습니다. 대한민국 Etc, 2009 LRICI가 있었기 때문에 일본, 대만으로부터 국내 고객들과 고객들에게 전자 등급 제품 NF3 가스의 높은 명성과 공급을 마구간에 넣으세요. 회사는 지금 1000 t/a의 능력을 가지고 99.999% 투기, 끊임없이 NF3 생산 보다 훨씬 더과 안정하게 우스를 촉구할 수 있습니다.
상술 :
1. 물성
| 상품 이름 | 삼불화 질소 |
| 분자식 | NF3 |
| 어떤 유엔. | 유엔 2451 |
| 어떤 CAS. | 7783-54-2 |
| 어떤 EINECS. | 232-007-1 |
2. 전형적 기술 데이터
| 음란 | NF3≥99.995% Vol.% | NF3≥99.99% Vol.% | NF3≥99.98% Vol.% | NF3≥99.9% Vol.% |
| CF4 | ≤20 Vol.ppm | ≤40 Vol.ppm | ≤100 Vol.ppm | ≤500 Vol.ppm |
| N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
| O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
| 이산화탄소 | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
| H2O | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
| HF | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
| SF6 | ≤1 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤25 Vol.ppm |
| N2O | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
| CO | ≤0.5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
3. 패키지
도트 3AA / GB5099 이음새가 없는 철강 cylinders/ 톤 실린더
| 실린더 정보 | 개별적 실린더(47L) | 번들 | Ｙ 실린더 | ISO 튜브 |
| 재료 | Mn 강철(316L) | 크롬-몰리브덴 강철 | ||
| 밸브 연결 타입 | CGA 330 CGS /는 640을 멸시합니다 | DISS 640 기타 등등 | ||
| 타입 | DOT-3AA GB5099 | 47L*16/47L*25 | 20ft :40ft | |
| 압력 | 9-13Mpa | |||
| 충진 중량 | 20/22.7 킬로그램 | 195/200 |
애플리케이션 :
삼불화 질소 (NF3)는 그것이 분해하기 위해 어떤 남아있는 높은 세정 속도의 유리하게 좋은 에칭과 클리닝 가스이고 쉬운 전자 공업, 반도체와 태양 광전기 산업 기타 등등에서 넓게 사용되었습니다.
