상품 이름: | 삼불화 질소 | 비중: | 3.003 kg/m3 (1 atm, 15 'C) |
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인기: | 케케묵습니다 | 출현: | 무색인 가스 |
어떤 CAS.: | 7783-54-2 | 어떤 아인텍스.: | 232-007-1 |
등급: | 농림부는 등급입니다, 전자가 등급입니다 | 수용성: | 0.021 g/100 mL |
하이 라이트: | 전기 가스,전자 가스 |
삼불화 질소 NF3, 반도체에서 사용된 99.99~99.999%
기술 :
삼불화 질소는 무색인 향기가 없는, 불연성인 가스입니다. 원소적 불소는 평면 패널 디스플레이와 박막형 태양전지의 제품에서 삼불화 질소을 환경적으로 우호적 대체로 도입되었습니다.
삼불화 질소는 또한 화학 레이저의 종류인 불화 수소와 불화중수소 레이저에서 사용됩니다. 상당한 안정성을 반영하면서, 그것은 편리한 처리 속성으로 인해 불소 가스에 발탁됩니다.
그것은 여러 플라스틱과 더불어, 강철과 모넬과 호환 가능합니다.
상술 :
1. 물성
상품 이름 | 삼불화 질소 |
분자식 | NF3 |
어떤 유엔. | 유엔 2451 |
어떤 CAS. | 7783-54-2 |
어떤 EINECS. | 232-007-1 |
2. 전형적 기술 데이터
항목 | 유닛 | 지수 | |
NF3 | Vol.% ≥ | 99.995 | 99.99 |
CF4 | Vol.% ≤ | ≤20 | ≤40 |
N2 | Vol.% ≤ | ≤5 | ≤10 |
O2+Ar | Vol.% ≤ | ≤3 | ≤5 |
CO | Vol.% ≤ | ≤1 | ≤5 |
이산화탄소 | Vol.% ≤ | ≤1 | ≤5 |
N2O | Vol.% ≤ | ≤1 | ≤5 |
SF6 | Vol.% ≤ | ≤2 | ≤5 |
H2O | Vol.% ≤ | ≤3 | ≤1 |
3. 패키지
도트 3AA / GB5099 이음새가 없는 철강 cylinders/ 톤 실린더
실린더 정보 | 개별적 실린더(47L) | 번들 | Y 실린더 | ISO 튜브 |
재료 | Mn 강철(316L) | 크롬-몰리브덴 강철 | ||
밸브 연결 타입 | CGA 330 CGS /는 640을 멸시합니다 | DISS 640 기타 등등 | ||
타입 | DOT-3AA GB5099 | 47L*16/47L*25 | 20ft :40ft | |
압력 | 9-13Mpa | |||
충진 중량 | 20/22.7 킬로그램 | 195/200 |
애플리케이션 :
삼불화 질소 (NF3)는 그것이 분해하기 위해 어떤 남아있는 높은 세정 속도의 유리하게 좋은 에칭과 클리닝 가스이고 쉬운 전자 공업, 반도체와 태양 광전기 산업 기타 등등에서 넓게 사용되었습니다.