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유엔 1982 특정 가스는 테트라플루오르화 탄소와 20% 산소를 혼합합니다

기본 정보
원래 장소: 중국
브랜드 이름: newradar / accept OME
인증: ISO/DOT/GB
모델 번호: 이용 불가능
최소 주문 수량: 1000 리터
가격: negotiation
포장 세부 사항: 10 킬로그램, 40 킬로그램 또는 50 킬로그램은 자격 있는 가스 용기에서 포장되었거나, 수요에 따라 포장되었습니다
배달 시간: 15-25 당신의 대금을 받은 후 일로 일합니다
지불 조건: L/C (신용장),, 전신환, 웨스턴 유니온, 머니그램
공급 능력: 달 당 3,00 세제곱 미터
상세 정보
애플리케이션: 248nm 리소그래피는 가공처리하고, 혼합 가스를 사용하여 할로겐과 섞였습니다 어떤 CAS.: 7439-90-9
어떤 유엔: 1982 순도 :: 99.999%
패키지 :: 이음새가 없는 스틸 실린더 이명: 산소 테트라플루오르화 탄소 혼합
출현 :: 무색 기체 실린더 크기 :: 10L,25L, 40L 또는 50L
등급기준: 전자 그레이드 등급 독성의: 논-톡식
하이 라이트:

에어 프로덕트 특정 가스

,

에어 리퀴드 특정 가스


제품 설명

유엔 1982 특정 가스는 테트라플루오르화 탄소와 20% 산소를 혼합합니다

 

 

기술 :

 

전문 가스 혼합제

 

테트라플루오르화 탄소는 플로오르 소스이거나 탄소 무불소기가 다양한 웨이퍼 에치프로세스에 사용했습니다. 테트라플루오르화 탄소는 폴리실리콘과 이산화 실리콘과 실리콘 질화물을 식각하기 위해 산소와 함께 사용됩니다.

 

테트라플루오르화 탄소는 정상 상태 하에 상대적으로 활발치 못하고, 질식제입니다. RF 플라즈마 상태 하에, 플루오린 자유 라디칼은 일반적으로 CF3 형태입니다

또는 CF2. 더 높은 순도 카본테트라플루오라이드는 더 좋은 차원적이고 프로필 제어를 초래하는 과정의 상측 제어의 결과가 됩니다.

 

항공 또는 산소 이 존재뿐 아니라 다른 할로겐화탄소는 비등방성 식각의 통제에 해롭습니다.

 

 

상술 :

 

1. 물성

 

주요 구성품
성분 집중 범위
O2 20 % 19.9-20.1%
CF4 균형  

 

 

 

 

 

 

2. 전형적 기술 데이터 (COA)

 

최대 음란
성분 집중 (ppm)
이산화탄소 (CO2) <1>
일산화탄소 (CO) <1>
수분 (H2O) <0>
질소 (N2) <10>
산소 (O2) <5>
메탄) (CH4) (으로서의 THC <0>
다른 할로겐화탄소 <1>
육불화 유황 <1>

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Specifications*를 실린더를 다세요 내용 압력
실린더 밸브 출구 선택 파운드 게이지 PSI
2 CGA 580 716을 멸시하세요 70 2000 139

 

 

 

 

유엔 1982 특정 가스는 테트라플루오르화 탄소와 20% 산소를 혼합합니다 0

애플리케이션 :

 

1

 테트라플루오로메탄은 때때로 저온 냉각제로서 사용됩니다.

 

2

 그것은 실리콘과 이산화 실리콘과 실리콘 질화물을 위한 플라즈마 에천트로서 홀로 전자 미세조립에서 또는 산소와 결합하여 사용됩니다.

 

3

 그것은 또한 중성자 검출기에서 사용을 가지고 있습니다

 

 

연락처 세부 사항
Vicky Liu

전화 번호 : 86-27-82653381

WhatsApp : +8613667126861